La serie E-UMS130-X adopta un riel de guía de rodillos cruzados de alta precisión con función antideslizamiento, coopera con un motor lineal y una escala de rejilla de alta resolución, y tiene las ventajas de tamaño pequeño, carga grande y bajo nivel de ruido.La guía de rodillos cruzados antideslizamiento es especialmente adecuada para aplicaciones que requieren un recorrido de paso fino, con.
El sistema de control de accionamiento de alto rendimiento puede avanzar de manera estable a un tamaño de paso de 10 nm, que es un rendimiento importante que es difícil de garantizar para las plataformas de motores lineales de riel de guía lineal ordinarias.Por lo tanto, la serie UMS130-X es especialmente adecuada para escenarios de aplicaciones de posicionamiento, detección, exposición y microprocesamiento de alta precisión.
● Motor de accionamiento directo sin contacto, ultra alta precisión y excelente rendimiento dinámico;
● Motor sin hierro, la fluctuación de la velocidad es inferior a una milésima (combinado con el tipo de accionamiento especificado, datos de prueba del entorno de laboratorio);
● Rieles de guía silenciosos y antideslizamiento para garantizar el control de micropasos;
● Larga vida útil, uso sin mantenimiento durante mucho tiempo;
Hay una opción de codificadores incrementales rentables, codificadores incrementales de clase de metrología y codificadores de medición absoluta (no se requiere referencia en el encendido).Dado que la posición lineal de la platina se mide directamente en la plataforma móvil contra la base estacionaria, sin contacto (metrología directa), contragolpe, juego mecánico o deformación en el tren de transmisión, como es común con las combinaciones de motor/husillo, no influye en la precisión de la posición .
En las guías de rodillos cruzados, el contacto puntual de las bolas en las guías de bolas se reemplaza por el contacto lineal de los rodillos endurecidos.En consecuencia, son considerablemente más rígidos y necesitan menos precarga, lo que reduce la fricción y permite un funcionamiento más suave.Las guías de rodillos cruzados también se distinguen por su alta precisión de guiado y capacidad de carga.Las jaulas de elementos rodantes guiadas a la fuerza evitan el deslizamiento de la jaula.
Las combinaciones de etapas de 2 y 3 ejes son factibles.Las tablas XY se pueden construir apilando dos etapas de un solo eje, mientras que un eje Z personalizado con compensación de fuerza de peso se puede usar para combinaciones de etapas de traducción XYZ.Otra opción del eje Z es la platina lineal vertical UMS130-X muy compacta con contrapeso magnético integrado ajustable por el usuario.
Industria e investigación.Metrología.Fotónica y escaneo de precisión en la fabricación de semiconductores o pantallas planas.
Especificación | UMS130-60X | -110X | -160X |
Tipo de motor | Motor trifásico sin hierro | ||
Tipo de codificador | Codificador incremental 0.1um (opcional codificador de hasta 1nm, absoluto opcional) | ||
Empuje del motor | Nominal 40N Pico 90N | ||
Aceleración (sin carga) | 3G | 2.5G | 2G |
Tipo de limitación de posición | Mecánica, fotoeléctrica, software (protección de triple límite) | ||
Material | Aleación de aluminio 6061-T6 (acero inoxidable opcional) | ||
Rango de recorrido mm | 60 | 110 | 160 |
Precisión mmm | ±3um (Calibración ±0.5um) | ||
Repetibilidad Precisión um | ±0.1um(±50nm corresponde a una rejilla por encima de 5nm) | ||
Velocidad máxima mm/s | 300 mm/s | ||
Capacidad de carga máxima kg | 6 | 8 | 12 |
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